IndyStar – hohe Zuverlässigkeit bei hoher Repetitionsrate

Der neue IndyStar Excimer Laser von Coherent Inc. repräsentiert die nächste Generation des ExciStar S-Industrial mit erhöhter Zuverlässigkeit und geringeren Betriebskosten. Bei einer maximalen Repetitionsrate von 1000 Hz ist der IndyStar verfügbar für 193 nm und 248 nm. Stabilisierte Pulsenergien liegen bei 8 mJ für ArF- und 12 mJ für KrF-Betrieb. Designänderungen wurden in erster Linie gezielt zum Erreichen von höheren Lebensdauern aller Verbrauchsmittel des Lasers durchgeführt. Durch die Einführung der neuen Almeta-Röhrentechnologie konnten für beide verfügbaren Wellenlängen Lebensdauern für Röhre und Optiken über mehrere Milliarden Pulse erzielt werden. Zudem wurde die  Gaslebensdauer signifikant erhöht. Dies reflektiert sich natürlich in geringeren Service-Aufwendungen als auch niedrigeren Betriebskosten, die mindestens um die Hälfte reduziert werden konnten.

Um den Aufwand bei Kunden durch den Übergang vom ExciStar S-Industrial zum IndyStar gering zu halten, sind alle Ausmaße des Lasers, Interface-Verbindungen sowie die wichtigsten Leistungsparameter identisch zum ExciStar S-Industrial. Der IndyStar Excimer Laser findet industrielle Anwendung in Bereichen, die hohe Repetitionsraten sowie stabile Leistungsdaten benötigen wie z.B. der präzisen Mikro-Materialbearbeitung als auch der Photomasken-Inspektion.

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