Die Bearbeitung mit tief ultraviolettem Laserlicht hat sich als eine einzigartige technologische Voraussetzung für eine große Vielfalt von industriellen Prozessen erwiesen.

Coherent hat sich einem fortlaufenden Programm der Produktverbesserung mit dem Ziel verschrieben, die Leistung der Excimer Laser zu verbessern und Kosten zu reduzieren, um die besonderen Vorteile der UV Materialbearbeitung einem ständig wachsenden Anwendungsbereich verfügbar zu machen.

Unser neuer LAMBDA SX 540C repräsentiert den aktuellen Stand dieses Programms.

Der LAMBDA SX 540C ist ein 308 nm Hochleistungslaser, der speziell für Produktionsanwendungen mit hohem Durchsatz konzipiert ist. Es ist zu erwähnen, dass es sich dabei um den ersten industriellen Excimer Laser handelt, der eine hohe Pulsernergie (bis zu 0,9 J) mit einer hohen Repetitionsrate (bis 600 Hz) kombiniert. Das ist die doppelte Repititonsrate verglichen mit dem bisherigen Stand der Technik. Damit ist es möglich auch den Prozessdurchsatz nahezu zu verdoppeln.

Dieser neue Laser enthält nicht nur alle Vorteile der existierenden LAMBDA SX Klasse sondern auch viele wichtige Innovationen. Zum Beispiel kann beliebig zwischen 700 mJ und 900 mJ eine aktiv stabilisierte Energie erzielt werden, wodurch der Laser-Output und die Betriebskosten für jede Anwendung optimiert werden können. Der Laser verfügt auch über einen Burst Mode mit PowerLok für Anwendungen, die "power on demand" erfordern, eine Festkörper-Pulser für hohe Zuverlässigkeit und ein externes Resonatordesign für maximale Strahlstabilität. Zusätzlich gewährleistet die TimeLok Technologie ein zeitgenaues Ansteuern und eine Reduktion des Jitter. Mit dem LAMBDA SX 540C Laser führt Coherent auch ein erweitertes Softwareinterface für eine verbesserte Echtzeitkontrolle, die Implementierung einer Fernwartung (Remote E-Diagnostics) und eine optimierte Wartungsplanung ein.

Die Laser der LAMBDA SX Serie sind darauf ausgelegt, anspruchsvolle industrielle Hochleistungsprozesse zu minimalen Kosten pro UV-Wattstunde zu ermöglichen. Dazu zählen die Mikro-Materialbearbeitung mit hohem Durchsatz, die Oberflächenbehandlung verschiedenster Kunststoffe und Gläser, die Strukturierung transparenter und leitfähiger Oxide (z. B. ITO, ZnO), die Strukturierung dünner Metallfilme auf Kunststoffsubstraten, das Dünnschicht-Annealing und die Rolle-zu-Rolle Pulsed Laser Deposition (PLD). Um die Integration zu erleichtern, können LAMBDA SX Laser mit den Coherent MicroLas Standard-UV-Optiksystemen von Coherent oder mit kundenspezifischen Strahlführungssystemen kombiniert zu werden, um Auflösungen von bis zu 2 Mikrometer zu erreichen.

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