Der ExciStarXS stellt den neuesten und gleichzeitig kleinsten Laser in der aktuellen Excimer-Produktpalette von Coherent dar.

Ausgehend von der Idee, einen leistungsstarken Laser quasi im Taschenformat zu entwickeln, der zudem noch konkrete Preisvorstellungen im Markt erfüllen muss, war es dennoch möglich, den Laser mit den neuesten Excimer-Technologien auszustatten. Der Laser ist konzipiert mit allen notwendigen Modulen hinsichtlich optimierter Raumausnutzung und gleichzeitig bestmöglicher Leistungsfähigkeit. Ausgestattet mit der neuesten "Almeta"-Röhrentechnologie und einem Festkörperschaltkreis bietet der ExciStarXS Repetitionsraten bis zu 500 Hz.

Auf eine Wasserkühlung der Laserröhre konnte selbst bei dieser maximalen Frequenz verzichtet werden. Stabilisierte Energien zwischen 1 mJ bei 157 nm und bis zu 12 mJ bei 248 nm sind möglich.

Die Almeta-Technologie in Kombination mit einer Corona-Vorionisierung liefert exzellente Werte hinsichtlich der Energiestabilisierung, die deutlich unter dem spezifizierten Wert von 2 % (sigma) liegen. Der Excistar XS ist darüber hinaus für alle Fluor-Wellenlängen im UV-Bereich verfügbar, d.h. 157, 193, 248 und 351 nm.

Erfahrungen aus dem vorherigen Modell "ExciStarS" sind in verschiedenste Bereiche des Designs eingeflossen. Das gesamte Service-Konzept hinsichtlich Teile-Zugänglichkeit und Bedienfreundlichkeit wurde überarbeitet und den Kundenanforderungen angepasst. Zudem werden sehr viel längere Lebensdauern für Verbrauchsmittel wie Röhren und Optiken erwartet. Dies, verbunden mit einem äußerst attraktiven Preis führt zu einer deutlichen Senkung der allgemeinen Betriebskosten beim Kunden. Diese Eigenschaften haben dazu geführt, dass der ExciStarXS bereits vor seiner offiziellen Markteinführung eine extrem hohe Resonanz im Markt erhielt.

Der Excistar XS ist ab Juli 2006 offiziell in den Markt eingeführt.

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