Der neue AVIA 355-20

Die UV-Laser der AVIA-Baureihe haben ihre hohe Verfügbarkeit und Industrietauglichkeit seit einigen Jahren im Markt bewiesen. Nun wird mit dem AVIA 355-20 die leistungsstärkste Version vorgestellt.

Der neue AVIA 355-20 von Coherent ist der erste gütegeschaltete 355 nm UV Festkörperlaser mit einer Ausgangsleistung von 20 W bei einer Pulsfrequenz von 100 kHz. Der AVIA 355-20 ist ein frequenz-verdreifachter Vanadat-Laser mit einer hohen Strahlqualität (M2 < 1,3) und verfügt – wie alle AVIA Laser – über eine hohe Industrietauglichkeit über die gesamte Lebensdauer. Der Resonator ist in einer hermetisch versiegelten Einheit aufgebaut. Die Optiken innerhalb des Resonators sind in der bestens bewährten PermAlign Technologie aufgebaut, bei der die einzelnen Komponenten in einem speziellen Lötverfahren starr montiert sind. Eine Dejustage, auch unter widrigen Einsatzbedingungen, ist somit ausgeschlossen.

Der Avia 355-20 kann vom Einzelpuls bis zu Pulsfrequenzen von 150 kHz betrieben werden, wobei die hervorragende Strahlcharakteristik und Stabilität über den ganzen Einsatzbereich erhalten bleibt. Die automatische Resonatoroptimierung und eine aktive Kompensation der "thermischen Linse" sorgen dafür, dass bei jeder QS-Frequenz die beste Leistung und Strahlqualität erreicht wird. Die Kombination aus hoher Ausgangsleistung und hoher Pulsfrequenz kann direkt in höhere Bearbeitungsgeschwindigkeiten in der Mikro-Materialbearbeitung umgesetzt werden.

Durch eine entsprechende Intelligenz des Lasers lassen sich Pulsenergien vorwählen, die auch bei geänderter Pulsfrequenz konstant gehalten werden. Somit lassen sich gleichbleibend gute Bearbeitungsergebnisse erzielen.

Haupteinsatzgebiete des AVIA-355-20 ist das Schneiden von Wafern, das Via-Bohren, die Bearbeitung von "low-k" Materialien, die Kantenisolation von Solarzellen, das Vereinzeln von Chips und das Strukturieren von verschiedensten Substraten.