Neue Produktfamilie VarioLas – Mikrobearbeitungsysteme à la carte

Die Maskenabbildungs- bzw. Linienstrahlbearbeitungssysteme der VarioLas-Familie (Bild 1), die auf der erfolgreichen Excimerlaserserie COMPexPro basieren, sind in idealer Weise für die präzise flächige Materialbearbeitung bei großen Bearbeitungsfeldern sowie für gezieltes Lasertempern ganzer Substratflächen geeignet.

Alle UV-Bearbeitungssysteme der VarioLas-Familie zeichnen sich durch ihr hochwertiges Optikdesign, solide mechanische Verarbeitung und erstklassige Pulsstabilität aus. Die Systeme der VarioLas-Familie sind für die gebräuchlichsten UV-Wellenlängen 193 nm, 248 nm und 308 nm erhältlich.

Die VarioLas-Versionen ECO und PRO sind Maskenabbildungssysteme für mittlere Auflösung bis zu 30 µm und für hohe Auflösung bis zu 5 µm mit quadratischen Bearbeitungsfeldern einer Größe von 2 x 2 mm² (Bild 2). Anwendungsgebiete für die ECO- und PRO-Versionen sind die UV-Mikrostrukturierung diverser Materialien, wie Kunststoffe, Halbleiter, Keramiken oder Gläser sowie das Separieren von Schichten mittels Laser Lift-Off (LLO) (Bild 3).

Die SWEEP-Version der VarioLas-Familie arbeitet mit einem homogenen Linienstrahl der Größe 50 x 0.6 mm² und eignet sich deshalb in besonderer Weise für großflächiges Scannen, wie es für lokalisiertes Wafertempern etwa bei der gezielten Aktivierung von dotierten Siliziumwafern zum Einsatz kommt.

Alle VarioLas-Versionen lassen sich in individueller Weise gemäß der jeweiligen Anforderungen zusammenstellen. So können verschiedene Sicherheitsfunktionen, sei es eine automatische Strahlunterbrechung, ein Interlockschaltkreis oder eine Strahlkapselung der Sicherheitsklasse 1 nach Wunsch zur Grundausstattung hinzukommen. Ebenso sind zahlreiche Steueroptionen, wie etwa eine Energiedichteregelung, ein motorisierter Substrattisch oder eine kollineare Kamerabeobachtung für das Verfolgen des Bearbeitungsfortschritts in Echtzeit wählbar.

Mit der VarioLas-Familie stehen dem Anwender in einzigartiger Weise alle Integrationsstufen zur Auswahl – von der hochflexiblen UV-Strahlführung bis zur vollautomatisierten Bearbeitungsstation.

Für technische Fragen kontaktieren Sie bitte:

Dr. Ralph Delmdahl
Telefon +49 5516938-397
E-Mail: ralph.delmdahl@coherent.com

Weitere Info finden Sie hier: www.coherent.com/uvopticalsystem

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