EnergyMax™ Sensoren für Excimer-Laser

Hohe Zerstörschwelle, große Detektorfläche, optimiert für die Verwendung bei 193nm und 248nm

Coherent’s EnergyMax™ Sensoren für Excimer-Laser wurden speziell für den Gebrauch mit ArF-Lasern bei 193nm und KrF-Laser bei 248nm entwickelt. Diese Sensoren besitzen eine sehr hohe Genauigkeit, eine große aktive Detektorfläche und sind mit einer neuartigen Beschichtung versehen, die eine extreme Langzeitbeständigkeit im UV aufweist.

Vorteile der EnergyMax™ Sensoren für Excimer-Laser  

• Patentierte MaxUV™ Beschichtung bietet erhöhte Zerstörschwelle, Langzeit UV-Beständigkeit und ermöglicht Messungen bei hohen Repetitionsraten
• Für Laser bei einer Wellenlänge von 190nm bis 2,1µm
• Pulsenergiemessungen im Bereich von 50µJ bis 250mJ
• Einzelpulsmessung bis 400Hz
• Spektrale Kompensationscharakteristiken in jedem Sensor integriert
• Automatische Temperaturkompensation

Produktdetails

Die Serie der EnergyMax™ Sensoren für Excimer-Laser umfasst vier verschiedene Modelle, jeweils zwei Modelle sind für 193nm und 248nm optimiert. Zusätzlich können aber alle Modelle für genaueste Messungen im UV-, VIS und NIR-Bereich verwendet werden. Die Detektoren sind mit Coherent’s einzigartiger MaxUV™ Beschichtung ausgestattet. Dadurch ist eine sehr hohe Zerstörschwelle im tiefen UV garantiert sowie eine hervorragende Beständigkeit für die Langzeitverwendung im UV. Sie sind bis zu Repetitionsraten von 400Hz einsetzbar. Die EnergyMax™ Sensoren für Excimer-Laser sind so genannte “smart” Sensoren, das heißt jeder Kopf beinhaltet zusätzlich zu der beschichteten Messfläche eine intelligente Elektronik. Durch eine automatische Temperaturkompensation (abhängig von der Umgebungstemperatur) sowie Korrekturkurven für unterschiedliche Wellenlängen werden Energiemessungen noch genauer und zuverlässiger.

EnergyMax™ Sensoren für Excimer-Laser  können mit folgenden Coherent-Messgeräten verwendet werden: 3sigma, FieldMaxII-TOP, FieldMaxII-P, EPM1000 und EPM2000

Die Sensoren können optional mit abnehmbaren Kühlkörpern ausgestattet werden, um die Belastbarkeit zu erhöhen. Folgende Versionen sind erhältlich:

• Small Heat Sink for 25 mm Aperture Sensors (10W @193 nm)
• Medium Heat Sink for 25 mm Aperture Sensors (15W @193 nm)
• Large Heat Sink for 50 mm Aperture Sensors (43W @193 nm)

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